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[Asuka讲堂之补充]CPU是如何制造的

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Anakinyang 发表于 2012-4-1 15:57 | 显示全部楼层
除了用掩膜做离子注入以外,CMOS工艺中更常见的是采用自对准离子注入。
2#
Anakinyang 发表于 2012-4-1 16:59 | 显示全部楼层
单晶硅主要是靠提拉法形成,直径越大的单晶硅,越难以保证点缺陷,位错,层错等的控制,难度越大。
离子注入之前一般会先通过CVD工艺形成一层外延层,另外离子注入一般也不是首个步骤,因为外延生长时会引入掺杂剂进行掺杂。
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