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国产7nm刻蚀机和ASML的EUV光刻机有什么不同？

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haierccc 发表于 2018-5-23 06:56 | 显示全部楼层

2个工艺，有先后顺序，先用光刻机把底片印到硅片上，再用刻蚀机按照底片刻蚀出电路

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