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国产7nm刻蚀机和ASML的EUV光刻机有什么不同?

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payun 发表于 2018-5-3 11:37 | 显示全部楼层
光刻和刻蚀是两回事,两个工艺过程;简单理解光刻就是照相,刻蚀是行成物理结构。
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