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国产7nm刻蚀机和ASML的EUV光刻机有什么不同?

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红色狂想 发表于 2018-5-1 00:23 | 显示全部楼层 |阅读模式
点击数:1144|回复数:28
下午老爷子看电视换台时无意间看到CCAV-2《大国重器》在喷中微半导体7nm刻蚀机,说是几个华裔回国创业者研发的,这个和ASML的EUV光刻机是一回事儿吗?
dy4932 发表于 2018-5-1 00:25 | 显示全部楼层
剪纸中的描花和裁剪之间的关系吧
Atom 发表于 2018-5-1 19:59 | 显示全部楼层
EUV光刻机的波长可没有7nm
咋喷的?
dongyi945 发表于 2018-5-1 20:02 | 显示全部楼层
能实用么。光实验室的还要等很久的
xdd6622 发表于 2018-5-1 20:22 | 显示全部楼层
一天就可以起飞,这个我信!
xdd6622 发表于 2018-5-1 20:28 | 显示全部楼层
事实证明,离开欧美的开发环境,中国人啥也干不了,在中国开发的,基本是把国外技术带回来二次开发或仿造,很难有独创领域。
NuclearBomb 发表于 2018-5-1 23:09 | 显示全部楼层
自己都不行还喷别人
来自苹果客户端来自苹果客户端
payun 发表于 2018-5-3 11:37 | 显示全部楼层
光刻和刻蚀是两回事,两个工艺过程;简单理解光刻就是照相,刻蚀是行成物理结构。
haierccc 发表于 2018-5-23 06:56 | 显示全部楼层
2个工艺,有先后顺序,先用光刻机把底片印到硅片上,再用刻蚀机按照底片刻蚀出电路
redsky0802 发表于 2018-5-23 07:16 | 显示全部楼层
本帖最后由 redsky0802 于 2018-5-23 07:20 编辑
xdd6622 发表于 2018-5-1 20:28
事实证明,离开欧美的开发环境,中国人啥也干不了,在中国开发的,基本是把国外技术带回来二次开发或仿造, ...

那怎样才能叫做独创呢?你不能说所有后来的飞机都是抄莱特兄弟的,所以都没有独创领域吧?

string 发表于 2018-5-23 12:49 | 显示全部楼层
概念炒多了后真有实力也没人信了,这就是现代版狼来了
Mufasa 发表于 2018-5-23 16:20 | 显示全部楼层
先光刻,然后再蚀刻。

前者相当于曝光,后者相当于冲洗。

蚀刻机主要是化工原理,精度要求没有光刻机那么高。
实际上中国的蚀刻机在国际市场也有优势。
NOIP117 发表于 2018-5-23 21:21 | 显示全部楼层
你要先光刻然后才能蚀刻,光刻机难度非常高,是整个工业体系的体现。蚀刻机有国产的了当然是好事情了,虽然差距还是在那里。
红色狂想  楼主| 发表于 2018-5-23 23:25 | 显示全部楼层
dy4932 发表于 2018-5-1 00:25
剪纸中的描花和裁剪之间的关系吧

对头。这么说光刻就相当于在基材上拍照绘制草图,蚀刻就是按照草图雕琢出结构形状,就像3D打印,只不过一个是堆积材料,一个是剥离材料。
红色狂想  楼主| 发表于 2018-5-23 23:27 | 显示全部楼层
Atom 发表于 2018-5-1 19:59
EUV光刻机的波长可没有7nm
咋喷的?

喷的是刻蚀机,不是光刻机,两种不同的工序设备。
红色狂想  楼主| 发表于 2018-5-23 23:43 | 显示全部楼层
dongyi945 发表于 2018-5-1 20:02
能实用么。光实验室的还要等很久的

看隔壁有坛友说,国内负责此项目的长春光机所给的时间是2030年,当然需要的话也许可以提前,按某八股新闻说,长光所负责EUV光刻机某重要节点技术已经通过验收。不过人家目前的重心貌似在卫星上,米级商用遥感卫星,2020年要发射60颗,组成30分钟任意地点,2030年之前137颗,每10分钟重新返回任何地点,这是他们发射卫星的视频:https://www.bilibili.com/video/av4459191/
反正领导不说话不给钱不给人不给设备不压任务的话,估计没点儿。。。
红色狂想  楼主| 发表于 2018-5-23 23:45 | 显示全部楼层
xdd6622 发表于 2018-5-1 20:22
一天就可以起飞,这个我信!

南瓜比房子大,一棵玉米要用马车拉
红色狂想  楼主| 发表于 2018-5-23 23:47 | 显示全部楼层
xdd6622 发表于 2018-5-1 20:28
事实证明,离开欧美的开发环境,中国人啥也干不了,在中国开发的,基本是把国外技术带回来二次开发或仿造, ...

未来50年一定会改变的
红色狂想  楼主| 发表于 2018-5-23 23:49 | 显示全部楼层
NuclearBomb 发表于 2018-5-1 23:09
自己都不行还喷别人

唱哀别人,自己自然就行啦。
红色狂想  楼主| 发表于 2018-5-23 23:52 | 显示全部楼层
payun 发表于 2018-5-3 11:37
光刻和刻蚀是两回事,两个工艺过程;简单理解光刻就是照相,刻蚀是行成物理结构。 ...

嗯,现在明白了,原来PN结和栅极二氧化硅耗尽层是这样加工出来的。。。
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